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Medidor de vazão mássico série MEMS0600A
Os medidores de vazão da série MEMS0600A (MFM) são projetados para medição em tempo real e saída de vazão e outras informações relacionadas a fluidos. O MFM tem um display local, bem como uma saída analógica de 4-20mA e uma saída digital do Modbus RTU RS485. O visor local mostra a vazão de gás e a vazão acumulada, a pressão do gás (opcional) e a temperatura do gás. Essas informações podem ser transmitidas ao sistema de controle via comunicação analógica (somente fluxo) e digital

Aplicar:
Indústria de energia renovável: equipamento de processamento de material fotovoltaico, equipamento de processamento de material de lítio, equipamento de teste de célula de combustível de hidrogênio, etc.
Indústria de semicondutores: equipamentos de processo de circuito integrado de semicondutores, equipamentos de processamento de fibra óptica, incluindo difusão, oxidação, epitaxia por feixe molecular, CVD, corrosão por plasma, sputtering, implantação de íons, revestimento a vácuo, fusão de fibra óptica e outros equipamentos de processo de produção.
Indústria farmacêutica: microrreatores, sistemas de mistura de gases, etc.
Medição de vazão de gás natural

Parâmetros técnicos:
Pressão: 3kPa(满量程)
通讯方式: RS485 / 4~20mA>